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技術(shù)文章

透明或者半透明薄膜的膜厚測量系統(tǒng)運(yùn)用技術(shù)

透明或者半透明薄膜的膜厚測量系統(tǒng)運(yùn)用技術(shù)

一種行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、價(jià)格低廉、用途廣泛的臺式薄膜厚度測量系統(tǒng),已安裝了 5,000 多臺。它可用于從研發(fā)到生產(chǎn)現(xiàn)場在線測量的廣泛應(yīng)用。
F20可以在1秒左右輕松測量透明或半透明薄膜的膜厚、折射率和消光系數(shù)。
它還支持多點(diǎn)在線測量,并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信,因此可以從PLC或上位機(jī)控制。

 

主要特點(diǎn)

  • 支持廣泛的薄膜厚度(1 nm 至 250 μm)

  • 支持寬波長范圍(190nm 至 1700nm)

  • 強(qiáng)大的膜厚分析

  • 光學(xué)常數(shù)分析(折射率/消光系數(shù))

  • 緊湊型外殼

  • 支持在線測量

主要用途

平板 單元間隙、聚酰亞胺、ITO、AR薄膜、
各種光學(xué)薄膜等
半導(dǎo)體 抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等
光學(xué)鍍膜 減反射膜、硬涂層等
薄膜太陽能電池 CdTe、CIGS、非晶硅等
  砷化鋁鎵(AlGaAs)、磷化鎵(GaP)等
醫(yī)療保健 鈍化、藥物涂層等


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